合肥申为取得可均匀加热晶圆的退火设备专利，有助于实现晶圆退火受热均匀

金融界2025年4月17日消息，国家知识产权局信息显示，合肥申为装备有限公司取得一项名为“一种可均匀加热晶圆的退火设备”的专利，授权公告号 CN 222762932 U，申请日期为2024年6月。

专利摘要显示，本实用新型提供一种可均匀加热晶圆的退火设备。包括：固定在炉体上底部的支腿和方便将晶圆放入装置内部的舱门，可视化舱门使得操作人员可以直接观察晶圆在退火过程中的实时状态，及时发现任何异常情况，并采取相应的措施。所述炉体前侧靠近舱门的另一侧安装有方便对该装置进行控制的操作机构，所述炉体内部安装有在加热时进行旋转使得加热均匀的转动机构，通过旋转晶圆，可以实现更均匀的加热。且在炉体后侧通过安装板螺纹连接进行封闭，所述加热仓的内部设置有对晶圆进行加热的加热机构，有通风口的放置台可以使得热空气在加热腔内流动，有助于实现更均匀的温度分布，减少热点和冷点的出现，确保晶圆在退火过程中受热均匀。

天眼查资料显示，合肥申为装备有限公司，成立于2020年，位于合肥市，是一家以从事仪器仪表制造业为主的企业。企业注册资本500万人民币。通过天眼查大数据分析，合肥申为装备有限公司财产线索方面有商标信息1条，专利信息15条，此外企业还拥有行政许可4个。

本文源自：金融界

作者：情报员