北京烁科中科信申请离子注入机低温注入控制专利，解决特殊产品注入工艺需求

金融界 2025 年 4 月 30 日消息，国家知识产权局信息显示，北京烁科中科信电子装备有限公司申请一项名为“一种应用于离子注入机的低温注入控制系统及低温注入控制方法”的专利，公开号 CN119890019A，申请日期为 2024 年 12 月。

专利摘要显示，本发明公开了一种应用于离子注入机的低温注入控制系统及低温注入控制方法，远程配电柜通过动力线缆与冷源连接；冷源通过网线和气体输送管道与阀箱连接，阀箱通过管道分别与预冷腔体和低温靶台连接；第一低温靶盘固定在预冷腔体中，并通过输出线缆与吸附电源连接；冷却环和第二低温靶盘均固定在低温靶台上；冷源通过控制线缆与第一 ADIO 控制器连接，阀箱通过控制线缆与第二 ADIO 控制器连接，吸附电源通过控制线缆与第三 ADIO 控制器连接，三个 ADIO 控制器均通过光纤连接工控机。本发明具有结构紧凑、稳定性高且操作便捷等特点，解决了特殊产品注入工艺对离子定向定位注入的需求问题，满足了市场对离子注入机工艺要求多样化的需求。

天眼查资料显示，北京烁科中科信电子装备有限公司，成立于2019年，位于北京市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本22224.4771万人民币。通过天眼查大数据分析，北京烁科中科信电子装备有限公司共对外投资了1家企业，参与招投标项目379次，专利信息156条，此外企业还拥有行政许可4个。

本文源自：金融界

作者：情报员