鑫跃微取得晶圆存储装置清洗系统专利，实现晶圆盒存储架无损伤清洗

金融界2025年4月15日消息，国家知识产权局信息显示，北京鑫跃微半导体技术有限公司取得一项名为“一种晶圆存储装置的清洗系统”的专利，授权公告号 CN 222753948 U，申请日期为2024年6月。

专利摘要显示，本申请公开了一种晶圆存储装置的清洗系统，由传送机构承载晶圆盒存储架并沿输送方向将晶圆盒存储架依次输送至各个工位，第一清洗机构向晶圆盒存储架喷射高压气体以去除位于第一工位的晶圆盒存储架上的杂质颗粒物，第二清洗机构中的干冰清洗组件喷射干冰粒子以清洗位于第二工位的晶圆盒存储架上的贴附异物，干燥机构对位于第三工位的晶圆盒存储架进行干燥，由此实现晶圆盒存储架的自动化清洗，减少了人工操作，提高了清洗效率。本申请整体采用非湿法清洗，可以有效减少干燥时间；在干冰清洗中，干冰粒子通过其瞬间冷却温差有效去除晶圆盒存储架表面的有机异物，同时其物理冲击也促使污染粒子脱离，从而实现晶圆盒存储架的无损伤清洗。

天眼查资料显示，北京鑫跃微半导体技术有限公司，成立于2022年，位于北京市，是一家以从事科技推广和应用服务业为主的企业。企业注册资本1030.953824万人民币。通过天眼查大数据分析，北京鑫跃微半导体技术有限公司共对外投资了1家企业，财产线索方面有商标信息4条，专利信息15条，此外企业还拥有行政许可1个。

本文源自：金融界

作者：情报员