东莞市晟鼎精密仪器取得晶圆热处理炉体加热装置专利，实现晶圆热处理加热优化

金融界2025年5月2日消息，国家知识产权局信息显示，东莞市晟鼎精密仪器有限公司取得一项名为“一种晶圆热处理炉体加热装置”的专利，授权公告号 CN 222799647 U，申请日期为 2024年4月。

专利摘要显示，本实用新型涉及一种晶圆热处理炉体加热装置，包括炉体、炉门、支架、晶圆载盘、推动装置、加热系统、抽真空接口、抽风接口以及水冷系统， 所述晶圆载盘安装于支架上，所述支架设置于炉门上，所述炉体内设有真空腔，所述炉门配合推动装置可推动式安装于炉体上，所述晶圆载盘随着炉门的推拉运动而推进或推出于真空腔，所述炉体内设有加热系统，所述加热系统分布于晶圆载盘的上下两层，所述炉体顶部设有抽真空接口，所述抽真空接口连通于真空腔，若干个所述抽风接口分别连通于上下两层的加热系统，同时，所述炉体的侧壁设有水冷系统。

天眼查资料显示，东莞市晟鼎精密仪器有限公司，成立于2012年，位于东莞市，是一家以从事仪器仪表制造业为主的企业。企业注册资本3550万人民币。通过天眼查大数据分析，东莞市晟鼎精密仪器有限公司共对外投资了6家企业，参与招投标项目64次，财产线索方面有商标信息6条，专利信息151条，此外企业还拥有行政许可9个。

本文源自：金融界

作者：情报员