常州元晶摩尔申请 MEMS 超声换能器制作方法专利,降低工艺难度和生产成本,提高换能器性能
金融界 2025 年 4 月 19 日消息,国家知识产权局信息显示,常州元晶摩尔微电子有限公司申请一项名为“3409.一种 MEMS 超声换能器的制作方法”的专利,公开号 CN119854718A,申请日为 2024 年 12 月。
专利摘要显示,本发明实施例公开了一种 MEMS 超声换能器的制作方法,包括:基底、振膜、底电极层、压电层和顶电极层;基底包括通孔和支撑区;振膜在基底的垂直投影覆盖通孔和部分支撑区;底电极层包括内圈和外圈底电极,压电层包括内圈和外圈压电层,各层依次层叠设置,底电极层和压电层的外圈部分环绕内圈部分,并覆盖基底的部分通孔和支撑区。顶电极层包括内圈和外圈顶电极,内圈顶电极和外圈顶电极之间具有间隙;外圈顶电极环绕内圈顶电极,内圈顶电极在压电层的垂直投影位于内圈压电层内,外圈顶电极在压电层的垂直投影位于外圈压电层内;外圈顶电极和内圈底电极电连接,外圈底电极和内圈顶电极电连接。可以降低工艺难度和生产成本,提高换能器的性能。
天眼查资料显示,常州元晶摩尔微电子有限公司,成立于2017年,位于常州市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本1100万人民币。通过天眼查大数据分析,常州元晶摩尔微电子有限公司共对外投资了1家企业,财产线索方面有商标信息1条,专利信息40条,此外企业还拥有行政许可12个。
本文源自:金融界
作者:情报员