芯恩（青岛）集成电路取得关键尺寸监控标记结构专利，有效监控晶圆面内 CD 的真实变化情况

金融界 2025 年 4 月 17 日消息，国家知识产权局信息显示，芯恩（青岛）集成电路有限公司取得一项名为“一种关键尺寸监控标记结构”的专利，授权公告号 CN 222762930 U，申请日期为 2024 年 4 月。

专利摘要显示，本实用新型提供一种关键尺寸监控标记结构，包括多条沿第一方向延伸且沿第二方向排列的关键尺寸监控标记，所述关键尺寸监控标记结构在第一方向上包括密集区与稀疏区，所述密集区或/和所述稀疏区内的所述关键尺寸监控标记的 CD 具有梯度变化。本实用新型通过设计 CD 梯度以监控可能存在的 CD 随能量不再变化的情况，并且可以同时监控 CD 梯度是否具有相同的变化规律，从而确定最佳的光刻条件，达到有效监控晶圆面内 CD 的真实变化情况的目的。

天眼查资料显示，芯恩（青岛）集成电路有限公司，成立于2018年，位于青岛市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本1006720.789212万人民币。通过天眼查大数据分析，芯恩（青岛）集成电路有限公司共对外投资了2家企业，参与招投标项目166次，财产线索方面有商标信息15条，专利信息614条，此外企业还拥有行政许可55个。

本文源自：金融界

作者：情报员