华微电子取得一种电极组件及等离子体刻蚀机专利，提高被刻蚀芯片的均匀性

金融界2025年5月3日消息，国家知识产权局信息显示，吉林华微电子股份有限公司取得一项名为“一种电极组件及等离子体刻蚀机”的专利，授权公告号CN 222801738 U，申请日期为2024年4月。

专利摘要显示，本申请公开了一种电极组件及等离子体刻蚀机，涉及等离子体电极技术领域，用于解决现有技术中电极本体的边缘区域的出气量小于中部区域的出气量，从而对芯片刻蚀不均匀的技术问题。该电极组件包括电极本体，所述电极本体包括中部区域和边缘区域；沿垂直于所述电极本体的厚度方向，所述电极本体上开有贯穿所述电极本体的多圈通气孔，所述多圈通气孔沿所述电极本体的径向排布，所述边缘区域的通气孔的直径大于所述中部区域的通气孔的直径。本申请通过将电极本体的边缘区域的通气孔的直径设置为大于中部区域的通气孔的直径，可以提高通过电极本体的气体的均匀性，进而可以提高被刻蚀的芯片的均匀性。

天眼查资料显示，吉林华微电子股份有限公司，成立于1999年，位于吉林市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本96029.5304万人民币。通过天眼查大数据分析，吉林华微电子股份有限公司共对外投资了6家企业，参与招投标项目42次，财产线索方面有商标信息8条，专利信息249条，此外企业还拥有行政许可18个。

本文源自：金融界

作者：情报员