青岛澳柯玛云联申请金属栅填充方法专利，提高栅电极电性能

金融界2025年4月25日消息，国家知识产权局信息显示，青岛澳柯玛云联信息技术有限公司申请一项名为“一种金属栅填充方法”的专利，公开号CN119811991A，申请日期为2023年10月。

专利摘要显示，本发明公开了一种金属栅填充方法，该金属填充方法包括在衬底结构的栅极沟槽内依次沉积高介电常数层以及第一材料层，第一材料层形成于高介电常数层的表面。基于第一材料层在栅极沟槽内沉积牺牲层，刻蚀去除栅极沟槽内部分厚度的牺牲层，以在栅极沟槽的顶部侧壁暴露出部分第一材料层。基于第一材料层的暴露位置依次刻蚀去除暴露的第一材料层以及暴露出的高介电常数层，以形成第一开口。去除栅极沟槽内剩余的牺牲层，以在去除剩余的牺牲层的位置形成第二开口，第一开口的开口宽度大于第二开口的开口宽度。由此，本发明不会出现在栅极沟槽顶部沉积过厚导致的底部无法完全沉积的现象，有效避免了在栅电极的底部形成空洞或缝隙，提高了栅电极电性能。

天眼查资料显示，青岛澳柯玛云联信息技术有限公司，成立于2020年，位于青岛市，是一家以从事软件和信息技术服务业为主的企业。企业注册资本50000万人民币。通过天眼查大数据分析，青岛澳柯玛云联信息技术有限公司共对外投资了5家企业，专利信息25条，此外企业还拥有行政许可4个。

本文源自：金融界

作者：情报员