浙江固微科技取得用于宽幅团簇束流沉积的结构专利，提高生产效率

金融界 2025 年 5 月 7 日消息，国家知识产权局信息显示，浙江固微科技有限公司取得一项名为“一种用于宽幅团簇束流沉积的结构”的专利，授权公告号 CN222821634U，申请日期为 2024 年 7 月。

专利摘要显示，本申请提供了一种用于宽幅团簇束流沉积的结构，包括溅射盘，溅射盘的内端设有溅射口，溅射盘的外端设有定位器，溅射口的上端设有长限位器和短限位器，长限位器和短限位器的下端均设有定位螺杆，定位螺杆的上端设有定位螺帽，定位螺帽的内端设有活动槽，活动槽的内端设有活动齿环，活动齿环的外端设有齿槽，齿槽的外端设有限位槽，活动槽的两端设有滑槽，滑槽的内端设有连杆，连杆的内端设有卡槽和定位杆。本申请在不改变原有沉积系统构造的前提下，在溅射口处设计安装限位器，通过调控限位器的位置变化精准调控沉积的范围、实现双团簇束流的无缝拼接，提高生产效率，该法简单可控、成本低且不会对团簇沉积系统产生其他影响。

天眼查资料显示，浙江固微科技有限公司，成立于2018年，位于杭州市，是一家以从事研究和试验发展为主的企业。企业注册资本1274.6万人民币。通过天眼查大数据分析，浙江固微科技有限公司共对外投资了1家企业，参与招投标项目6次，财产线索方面有商标信息5条，专利信息31条，此外企业还拥有行政许可6个。

本文源自：金融界

作者：情报员